等离子百科

MPCVD中双基片结构对plasma设备的影响研究

MPCVD中双基片结构对plasma设备的影响研究编辑整理,该内容来源于等离子百科;2023/3/23 23:02:50完成编辑。此内容标签;更多请点击查看;

MPCVD中双基片结构对plasma设备的影响研究:

天然金刚石有着高的硬度、热膨胀系数、化学稳定性能及其光学透过率等物理和化学性能,这些优异性能,使得天然金刚石在许多领域都可以作为一种理想材料。例如可以用作电子束引出窗口、高频高功率电子器件、高灵敏的表面声学波滤波器、切削工具等。

微波plasma设备化学气相沉积(MPCVD)法制作天然金刚石開始,MPCVD法制作天然金刚石的优势变得非常显著,当今世界高端的天然金刚石也几乎全是通过MPCVD法制作而成,与其他生长方法相比,MPCVD法因有着无极放电、生长速率快、天然金刚石杂质少等优点,成为一种理想的生长天然金刚石的方法。

近些年,MPCVD技术得到了较大进度,对天然金刚石沉积工艺参数影响的研究已经趋于成熟,但对MPCVD装置谐振腔的研究还有待进一步深人。微波谐振腔是MPCVD装置中的关键部件,不一样的微波谐振腔结构会影响电场强度及分布,从而影响plasma设备等离子体状态,最终对天然金刚石沉积质量和速率有相应影响。MPCVD装置微波谐振腔的结构研究对于天然金刚石生长方面是有着价值的。

常见的MPCVD法生长天然金刚石所用的谐振腔有不锈钢谐振腔式和石英钟罩式,石英钟罩式利于生长大面积的天然金刚石薄膜,但速率较慢且容易污染石英管,而不锈钢谐振腔式设备则有着生长速率快的特点。

页面关键词:超声波,点胶机,超声波清洗机,焊锡机,螺丝机,灌胶机,自动焊锡机,自动点胶机,自动锁螺丝机,超声波焊接机。

页面描述:MPCVD中双基片结构对plasma设备的影响研究:天然金刚石有着高的硬度、热膨胀系数、化学稳定性能及其光学透过率等物理和化学性能,这些优异性能,使得天然金刚石在许多领域都可以作为一种理想材料。例如可。

联系我们

公 司:深圳杰通自动化有限公司

联系人:周先生

电话:13410974163

手机:15338087819

E-mail:mail@jietongtech.com

地 址:深圳市南山区南头街道星海名城社区前海路3101号星海名城五期1栋、2栋、3栋、4栋1-32H