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等离子体表面处理仪都有哪些不同点

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等离子体表面处理仪都有哪些不同点:

1、真空等离子体表面处理仪技术:

这类等离子体是在全封闭真空过程中产生的(10-3到10-9bar)。相对于常压情况,单位体积内的粒子数更少,从而增加了粒子自由程长度,相对减少了碰撞过程。最终是,等离子体能量衰减的趋势减弱,并能在空间中更广泛地传播。为了制造真空腔,需要使用强大的气泵。真空等离子技术没有联动连接功能。

2、高电压等离子体表面处理仪技术:

高电压等离子体是由专用气体放电管产生。这类等离子体在表面处理中并不重要。

3、电晕处理技术:

电晕处理技术是一种采用高压的物理方法,主要用于薄膜处理。电晕预处理的缺点是,其表面活化能力较低,处理后表面效果有时不够均匀。还可以对膜的反面进行处理,有时根据工艺要求可以避免。另外,经电晕处理后获得的表面张力不能长期保持稳定,处理后的产品往往只能存放有限的时间。

4、常压等离子体表面处理仪技术:

常压等离子处理机技术是在大气压条件下产生的等离子体,常压型等离子体处理技术成本低,性能优良,可作为真空等离子体和电晕等离子体的工艺替代和工艺改进,得到广泛应用。常压型等离子体技术的一大优点是其联机综合性能,该技术可以平稳地集成到现有的生产系统中,作为工艺准则。

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