电浆清洗机等离子体绝缘层处理及有机半导体材料的应用

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电浆清洗机等离子体绝缘层处理及有机半导体材料的应用：

一、绝缘层处理-电浆清洗机等离子体润滑硅胶表面，提升材料的兼容性

当电浆清洗机设备运行时，电荷首先在半导体与绝缘层的接触面上积累和传输。为了确保网格电极与有机半导体之间的网格电极泄漏电流较小，绝缘层数据电阻较高，即绝缘性较好。目前，常用的绝缘层数据是无机绝缘层，如氧化层。在此期间，二氧化硅通常用于有机场效应晶体管中的绝缘层，但由于二氧化硅表面存在一些缺陷，与有机半导体数据的兼容性较差。因此，硅片表面需要等离子体进行润滑，测试后频率为13.56MHz真空系列处理效果好。

二、有机半导体材料-电浆清洗机等离子体活化改性处理，提高迁移率

目前，有机半导体材料主要分为小分子材料和聚合物材料两类。有机半导体可分为P型半导体和N型半导体。在P型半导体中，大多数载流子是空穴结构，而N型半导体载流子是电子结构。除了必要的稳定性外，P型半导体还具备以下条件：

(1)HOMO能级高，能与电极形成欧姆接触，使空穴能顺利注入；

(2)给电子能力强。常见的包括:稠环芳烃，如五苯(Pentacene)，红荧烯(Rubrene)；聚合物，如聚合物（3-己基噻命令），可通过电浆清洗机等离子体处理激活和修改有机半导体。利用等离子体修复绝缘层表面，使有机材料的沉积更加均匀、平整，大大提高了设备的迁移率，提升了设备的功能。等离子体清洗机对有机半导体设备的激活和改性，显著提高了设备的性能。

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