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金刚石膜化学沉积通常指等离子沉积实验

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金刚石膜化学沉积通常指等离子沉积实验:

制备的金刚石膜是1种有着等离子体化学气相积累能力的工艺。由于薄膜金刚石在超硬维护涂层、光窗口、热沉数据、微电子等方面也起着至关重要的作用,因而,当人类掌握了金刚石薄膜的制备技术,特别是单晶金刚石薄膜的制备技术后,依靠数据的前史就会由硅材料年代迅速进入金刚石年代。但现在对等离子沉积金刚石膜的机理尚不明白,特别是异质外延单晶金刚石膜,其困难之处在于:低温等离子体处于热不平衡状态,所使用的反应气体也是多原子分子,反应体系复杂,缺乏基本的数据支持。然而,经过20多年的理论和实验研究,人们不仅发展了许多等离子体化学气相沉积制备金刚石薄膜的工艺,而且通过对实验数据的分析和总结,对影响金刚石薄膜生长的因素也有了一定的认识。对于多晶金刚石膜的生长,成核是关键,而影响成核的因素很多,包含等离子体条件、基质数据、温度等。

通过等离子沉积金刚石膜,首先要了解金刚石的成核过程,一般将其分为两个阶段:含碳基团到达基体表面,然后分散到基体内部;第二阶段是到达基体表面的碳原子在基体表面上以缺陷、金刚石子晶等为中心的成核、生长。

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