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用等离子体表面处理仪清洗金属复合材料会变黄吗?

用等离子体表面处理仪清洗金属复合材料会变黄吗?编辑整理,该内容来源于等离子百科;2023/9/29 23:58:51完成编辑。此内容标签;更多请点击查看;

用等离子体表面处理仪清洗金属复合材料会变黄吗?

半导体包装行业,包括集成电路、分离器件、传感器和光电子包装,经常使用金属复合材料引线框架,为了提高键合和塑料密封的可靠性,金属支架一般通过等离子体清洗机处理一会,以去除表层有机化合物、污染物,提高其可焊性、粘附性。但有的时候就会发现,金属支架在等离子体表层处理仪的真空环境中使用不当,容易出现表层变黄、黑色、严重甚至烧板等现象。是因为腔内的空气不干净,残余空气中的氧分子受到刺激,氧等离子体与金属表面发生化学反应,形成氧化的结果吗?原因会是这样吗?

一、等离子体表层处理仪真空度对产品清洗效果和变黄的影响

等离子体表层处理仪的真空度相关因素包括真空腔泄漏、背面真空、真空泵的泵送速度和工艺气体的进气流量。真空泵泵速度快,背面真空值越低,残留空气越少,铜支架与空气中氧等离子体反应的机会越少;当工艺气体进入时,等离子体可以与铜支架充分反应,无刺激的工艺气体可以带走反应,铜支架清洗效果好,不易变黄。

二、等离子体表面处理仪的电源功率对产品清洗效果和变黄的影响

等离子体清洗机电源的相关因素包括能量功率大小和单位功率密度。电源功率越大,等离子体能量越高,对产品的表层影响越强;在相同功率下,加工产品越少,单位功率密度越大,清洗效果越好,但可能导致能量过大、板变黄或烧板。

三、等离子体表面处理仪电场分布对产品清洗效果和变黄的影响

等离子体表面处理仪离子电场分布的相关因素包括电极结构、气体流向和金属产品的位置。不同的处理材料、工艺要求和容量要求,电极结构的设计不同;气体流动形成气场,影响等离子体的运动、反应和均匀性;产品的位置会影响电场和气场特性,导致能量分布不平衡,局部等离子体密度过大,烧板。

除上述因素外,实践证明,等离子体清洗机的处理时间、电源频率、车辆类型等对产品的处理效果和变黄也有影响。

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