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plasma等离子清洗机其电离的粒子都是哪些

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plasma等离子清洗机其电离的粒子都是哪些:

存在于我们周围的物质有三种形态:固态、液态及气态,等离子体通常被称为物质的第四态。普通气体由电中性的分子或原子组成,电离气体是电子、离子、原子、分子或自由基粒子组成的集合体,其中的正电荷和负电荷总数在数值上总是相等的。

基于此种等离子体构成,电离气体表现出以下2种性质:

1、电离气体是一种导电流体,而又能在与气体体积相比拟的宏观尺度内维持电中性;

2、电离气体带电粒子之间存在库仑力,由此导致带电粒子群的种种整体运动行为会受到磁场的影响和支配

产生等离子体的方式很多,自然方法存在于宇宙天体间及上层大气,人工方法--般为放电方式、放射线方式、真空紫外光、激光、燃烧、冲击波、场致电离等。

放电方式又包括直流放电、低频放电高频放电、微波及感应方式等。我们在设备上应用最多的是利用13.56MHz高频电源产生辉光放电,在不同的反应室条件中,实现各种的不同的反应机理,从而产生不同的工艺效果。plasma等离子清洗机技术最重要的优势在于它的多功能性,plasma等离子清洗机可用于多种材料的表面活化、清洗、刻蚀和沉积。

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