玻璃盖板等离子表面活化清洗处理

一、玻璃盖板等离子表面活化清洗处理介绍

根据玻璃板生产线的要求和对产品处理的要求，可以采用等离子表面处理设备来处理产品，选用的设备如下图，设备外形图和等离子体图见下图。等离子体其离子和电子的能量可达6eV。其最大的特点是喷射出的等离子体为中性，不带电。可对被处理的材料表面进行在线改性、清洗和刻蚀。

每台喷出的等离子体尺寸为：直径为30~90mm，喷射长度为25~30mm。根据产品尺寸和处理宽度的要求，灵活选用设备进行在线处理。

二、等离子表面活化清洗原理

等离子体是由大量的自由电子和离子组成、且在宏观上呈现为近似电中性的电离气体，它是物质存在的又一种聚集态－等离子态，也被人们称作物质的第四态。等离子体中的电子从电场中获得能量成为自由的高能电子，它与气体中的原子和分子碰撞产生激发和电离现象，由此生成的激发分子，原子，离子和游离基都是极不稳定的具有较高的化学反应性，很容易发生一般情况下无法生成的反应，生成新化合物，或使被处理物分介失重。处理时，可使表面层发生刻蚀而形成新的性能（如减量，吸湿性，增深性，粘合性……等）；或引起交联，接枝和聚合。

等离子体在性质上与普通气体有很大的差别。等离子体中电子温度可高达数千到数万Ｋ，而气体温度很低，大致在室温至上百摄氏度，而电子能量约为几个至十几个电子伏特。这个能量大于聚合物材料的结合键能(几个至十几电子伏特)，完全可以打断有机大分子的化学键而形成新键；但远低于高能射线，只涉及材料表面，所以不影响基体的性能。

三、等离子体技术在处理有机材料上有如下优点：

① 等离子体技术属干式工艺，省能源，无公害，满足节能和环保的需要；

② 处理的时间短，效率高；

③ 对所处理的材料无严格要求，具有普适性；

④ 可处理形状较复杂的材料，材料表面处理的均匀性好；

⑤ 处理的温度低；

⑥ 对材料表面的作用仅涉及几到几百纳米，只会改善材料表面性能而基体性能不受影响。